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至纯科技近期接受投资者调研时称，炉管设备、涂胶显影设备属于公司扩展的半导体设备品类，在2022年已有订单，这块业务的发展思路更聚集业务本身的市场化能力，和最早湿法切入策略一样先从6寸、8寸设备快速进入市场，12寸的验证周期比较长。炉管设备进展快，已经量产并交付8寸设备，2023年会在1~2个客户验证12寸设备。涂胶显影设备2023年主要目标是开始批量交付8寸设备。